对准基础

从 ±10 μm 到纳米级：精密制造对准能力地图怎么读

同样叫“对准”，Die Bond、晶圆 Overlay、OLED 掩膜和 Micro LED 转移衡量的并不是同一件事。先统一对象、坐标系与统计口径，再谈设备方案。